光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2001年
6期
518-519,521
,共3页
环行浮动抛光技术%工艺实验%透射波前%反射波前
環行浮動拋光技術%工藝實驗%透射波前%反射波前
배행부동포광기술%공예실험%투사파전%반사파전
采用环行抛光技术是实现大尺寸、高面形精度和细表面粗糙度要求的方形或长方形平面元件批量化加工的一条有效途径.介绍了利用环行抛光工艺实际制作了两块320 mm×320 mm×35 mm和320 mm×320 mm×48 mm UBK7材料的工艺实验样品.加工结果是,透射元件获得了镀膜后双次透射波前0.293λ(P-V,λ=0.6328 um)和反射元部件的反射波前0.22λ(P-V,λ=0.6328 um)的结果.
採用環行拋光技術是實現大呎吋、高麵形精度和細錶麵粗糙度要求的方形或長方形平麵元件批量化加工的一條有效途徑.介紹瞭利用環行拋光工藝實際製作瞭兩塊320 mm×320 mm×35 mm和320 mm×320 mm×48 mm UBK7材料的工藝實驗樣品.加工結果是,透射元件穫得瞭鍍膜後雙次透射波前0.293λ(P-V,λ=0.6328 um)和反射元部件的反射波前0.22λ(P-V,λ=0.6328 um)的結果.
채용배행포광기술시실현대척촌、고면형정도화세표면조조도요구적방형혹장방형평면원건비양화가공적일조유효도경.개소료이용배행포광공예실제제작료량괴320 mm×320 mm×35 mm화320 mm×320 mm×48 mm UBK7재료적공예실험양품.가공결과시,투사원건획득료도막후쌍차투사파전0.293λ(P-V,λ=0.6328 um)화반사원부건적반사파전0.22λ(P-V,λ=0.6328 um)적결과.
