传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2006年
11期
55-56,60
,共3页
崔光浩%闻化%雷钢%张爱平
崔光浩%聞化%雷鋼%張愛平
최광호%문화%뢰강%장애평
压力传感器%高精度%双膜片
壓力傳感器%高精度%雙膜片
압력전감기%고정도%쌍막편
设计了一种新的传感器封装方法.该方法采用双膜片结构,无油封装.压力膜片为硅-蓝宝石材料,通过硅的压阻效应,利用下膜片实现压力传递,上膜片的惠斯登电桥将感受的压力转换为电压信号.经过温度补偿,使热漂移信号大幅度降低.试验结果表明:在常温条件下,传感器准确度为0.14% FS.在-55～200℃范围内,热零点漂移为0.48×10-3%FS/℃,热灵敏度漂移为0.61×10-3%FS/℃.
設計瞭一種新的傳感器封裝方法.該方法採用雙膜片結構,無油封裝.壓力膜片為硅-藍寶石材料,通過硅的壓阻效應,利用下膜片實現壓力傳遞,上膜片的惠斯登電橋將感受的壓力轉換為電壓信號.經過溫度補償,使熱漂移信號大幅度降低.試驗結果錶明:在常溫條件下,傳感器準確度為0.14% FS.在-55～200℃範圍內,熱零點漂移為0.48×10-3%FS/℃,熱靈敏度漂移為0.61×10-3%FS/℃.
설계료일충신적전감기봉장방법.해방법채용쌍막편결구,무유봉장.압력막편위규-람보석재료,통과규적압조효응,이용하막편실현압력전체,상막편적혜사등전교장감수적압력전환위전압신호.경과온도보상,사열표이신호대폭도강저.시험결과표명:재상온조건하,전감기준학도위0.14% FS.재-55～200℃범위내,열영점표이위0.48×10-3%FS/℃,열령민도표이위0.61×10-3%FS/℃.
