摩擦学学报
摩抆學學報
마찰학학보
TRIBOLOGY
2008年
2期
118-122
,共5页
张广安%王鹏%陈友明%王霞%闫鹏勋%张俊彦
張廣安%王鵬%陳友明%王霞%閆鵬勛%張俊彥
장엄안%왕붕%진우명%왕하%염붕훈%장준언
中频磁控溅射%Al-DLC薄膜%摩擦磨损性能
中頻磁控濺射%Al-DLC薄膜%摩抆磨損性能
중빈자공천사%Al-DLC박막%마찰마손성능
采用中频磁控溅射技术在单晶硅表面制备含铝类金刚石(Al-DLC)薄膜,利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪、红外光谱仪、纳米压痕仪和微摩擦磨损试验机等考察薄膜表面形貌、结构及其摩擦磨损性能.结果表明:所制备的Al-DLC薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,应力较低,硬度较高;薄膜与Si3N4陶瓷球对摩时显示出良好抗磨减摩性能;加基底偏压所制备薄膜的摩擦系数明显降低, 耐磨寿命显著提高.
採用中頻磁控濺射技術在單晶硅錶麵製備含鋁類金剛石(Al-DLC)薄膜,利用原子力顯微鏡、X射線光電子能譜儀、紅外光譜儀、納米壓痕儀和微摩抆磨損試驗機等攷察薄膜錶麵形貌、結構及其摩抆磨損性能.結果錶明:所製備的Al-DLC薄膜均勻、緻密,錶麵粗糙度小,應力較低,硬度較高;薄膜與Si3N4陶瓷毬對摩時顯示齣良好抗磨減摩性能;加基底偏壓所製備薄膜的摩抆繫數明顯降低, 耐磨壽命顯著提高.
채용중빈자공천사기술재단정규표면제비함려류금강석(Al-DLC)박막,이용원자력현미경、X사선광전자능보의、홍외광보의、납미압흔의화미마찰마손시험궤등고찰박막표면형모、결구급기마찰마손성능.결과표명:소제비적Al-DLC박막균균、치밀,표면조조도소,응력교저,경도교고;박막여Si3N4도자구대마시현시출량호항마감마성능;가기저편압소제비박막적마찰계수명현강저, 내마수명현저제고.
