电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2009年
6期
50-52
,共3页
温度稳定性%快速热处理设备%热惯性%串级控制
溫度穩定性%快速熱處理設備%熱慣性%串級控製
온도은정성%쾌속열처리설비%열관성%천급공제
以快速热处理设备对温度控制的特殊要求为研究目的,研究温度热惯性对温度稳定性的影响,目的是为解决芯片快速退火和快速合金的稳定性和可靠性,并为设计新快速热处理设备提出串级控制建议.
以快速熱處理設備對溫度控製的特殊要求為研究目的,研究溫度熱慣性對溫度穩定性的影響,目的是為解決芯片快速退火和快速閤金的穩定性和可靠性,併為設計新快速熱處理設備提齣串級控製建議.
이쾌속열처리설비대온도공제적특수요구위연구목적,연구온도열관성대온도은정성적영향,목적시위해결심편쾌속퇴화화쾌속합금적은정성화가고성,병위설계신쾌속열처리설비제출천급공제건의.