微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2010年
5期
273-276
,共4页
单壁碳纳米管%介电泳%电子束光刻%非对称%整流
單壁碳納米管%介電泳%電子束光刻%非對稱%整流
단벽탄납미관%개전영%전자속광각%비대칭%정류
实验研究了多根或单根单壁碳纳米管与非对称金属电极接触结构的制作方法.先用介电泳方法(DEP)将碳纳米管定向排列在Au电极对之间,再用电子束光刻(EBL)在碳纳米管的一端加工Al电极,获得多根碳纳米管与金铝电极的非对称接触结构.先用EBL在AU电极对一端覆盖Al电极,再用DEP排列碳纳米管,实现单根碳管与金铝电极的非对称接触结构.非对称结构器件的电学测试研究表明,器件的I-V曲线不再对称,呈现出整流特性.
實驗研究瞭多根或單根單壁碳納米管與非對稱金屬電極接觸結構的製作方法.先用介電泳方法(DEP)將碳納米管定嚮排列在Au電極對之間,再用電子束光刻(EBL)在碳納米管的一耑加工Al電極,穫得多根碳納米管與金鋁電極的非對稱接觸結構.先用EBL在AU電極對一耑覆蓋Al電極,再用DEP排列碳納米管,實現單根碳管與金鋁電極的非對稱接觸結構.非對稱結構器件的電學測試研究錶明,器件的I-V麯線不再對稱,呈現齣整流特性.
실험연구료다근혹단근단벽탄납미관여비대칭금속전겁접촉결구적제작방법.선용개전영방법(DEP)장탄납미관정향배렬재Au전겁대지간,재용전자속광각(EBL)재탄납미관적일단가공Al전겁,획득다근탄납미관여금려전겁적비대칭접촉결구.선용EBL재AU전겁대일단복개Al전겁,재용DEP배렬탄납미관,실현단근탄관여금려전겁적비대칭접촉결구.비대칭결구기건적전학측시연구표명,기건적I-V곡선불재대칭,정현출정류특성.
