人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2010年
5期
1302-1307
,共6页
仲元昌%郭耿涛%贾年龙%赵贞贞
仲元昌%郭耿濤%賈年龍%趙貞貞
중원창%곽경도%가년룡%조정정
现场可编程门阵列%晶体生长炉%神经网络%浮点
現場可編程門陣列%晶體生長爐%神經網絡%浮點
현장가편정문진렬%정체생장로%신경망락%부점
本文采用了数字PID与神经网络相融合的晶体生长炉温度测控方法,设计了生长晶体的PID神经网络温度控制器,并用FPGA(Field Programmable Gate Array)实现了PID神经网络的并行结构;神经网络采用符合32位IEEE754的单精度浮点数运算单元.理论分析和仿真结果表明:该PID神经网络温度控制器具有很高的控制精度和响应速度,有利于提高晶体生长炉的控温精度和加热效率.
本文採用瞭數字PID與神經網絡相融閤的晶體生長爐溫度測控方法,設計瞭生長晶體的PID神經網絡溫度控製器,併用FPGA(Field Programmable Gate Array)實現瞭PID神經網絡的併行結構;神經網絡採用符閤32位IEEE754的單精度浮點數運算單元.理論分析和倣真結果錶明:該PID神經網絡溫度控製器具有很高的控製精度和響應速度,有利于提高晶體生長爐的控溫精度和加熱效率.
본문채용료수자PID여신경망락상융합적정체생장로온도측공방법,설계료생장정체적PID신경망락온도공제기,병용FPGA(Field Programmable Gate Array)실현료PID신경망락적병행결구;신경망락채용부합32위IEEE754적단정도부점수운산단원.이론분석화방진결과표명:해PID신경망락온도공제기구유흔고적공제정도화향응속도,유리우제고정체생장로적공온정도화가열효솔.
