功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2012年
1期
82-86
,共5页
闫会芳%赵庆勋%付跃举%刘卓佳%张婷%郭建新%任国强%刘保亭
閆會芳%趙慶勛%付躍舉%劉卓佳%張婷%郭建新%任國彊%劉保亭
염회방%조경훈%부약거%류탁가%장정%곽건신%임국강%류보정
P(VDF-TrFE)%铁电薄膜%非晶Ni-Al%溶胶-凝胶
P(VDF-TrFE)%鐵電薄膜%非晶Ni-Al%溶膠-凝膠
P(VDF-TrFE)%철전박막%비정Ni-Al%용효-응효
应用磁控溅射法制备Ni-Al和Pt薄膜,溶胶-凝胶法制备P(VDF-TrFE)铁电共聚物薄膜,在SiO2/Si(001)衬底上首次构架了Pt/P( VDF-TrFE )/Ni-Al异质结电容器.X射线衍射(XRD)结果表明:Ni-Al薄膜为非晶结构,P(VDF-TrFE)薄膜具有较好的结晶质量.研究发现,在20 Hz测试频率下,Pt/P(VDF-TrFE)/Ni-Al电容器具有饱和的电滞回线,在90 V驱动电压下,剩余极化强度与矫顽场分别为7.6 μC/cm2和45.7 V.在外加电压为40 V时,薄膜的漏电流密度约为5.37×10-6A/cm2.漏电机制研究表明,Pt/P( VDF-TrFE )/Ni-Al电容器满足欧姆导电机制.铁电电容器经过109极化反转后没有发现明显的疲劳现象.
應用磁控濺射法製備Ni-Al和Pt薄膜,溶膠-凝膠法製備P(VDF-TrFE)鐵電共聚物薄膜,在SiO2/Si(001)襯底上首次構架瞭Pt/P( VDF-TrFE )/Ni-Al異質結電容器.X射線衍射(XRD)結果錶明:Ni-Al薄膜為非晶結構,P(VDF-TrFE)薄膜具有較好的結晶質量.研究髮現,在20 Hz測試頻率下,Pt/P(VDF-TrFE)/Ni-Al電容器具有飽和的電滯迴線,在90 V驅動電壓下,剩餘極化彊度與矯頑場分彆為7.6 μC/cm2和45.7 V.在外加電壓為40 V時,薄膜的漏電流密度約為5.37×10-6A/cm2.漏電機製研究錶明,Pt/P( VDF-TrFE )/Ni-Al電容器滿足歐姆導電機製.鐵電電容器經過109極化反轉後沒有髮現明顯的疲勞現象.
응용자공천사법제비Ni-Al화Pt박막,용효-응효법제비P(VDF-TrFE)철전공취물박막,재SiO2/Si(001)츤저상수차구가료Pt/P( VDF-TrFE )/Ni-Al이질결전용기.X사선연사(XRD)결과표명:Ni-Al박막위비정결구,P(VDF-TrFE)박막구유교호적결정질량.연구발현,재20 Hz측시빈솔하,Pt/P(VDF-TrFE)/Ni-Al전용기구유포화적전체회선,재90 V구동전압하,잉여겁화강도여교완장분별위7.6 μC/cm2화45.7 V.재외가전압위40 V시,박막적루전류밀도약위5.37×10-6A/cm2.루전궤제연구표명,Pt/P( VDF-TrFE )/Ni-Al전용기만족구모도전궤제.철전전용기경과109겁화반전후몰유발현명현적피로현상.
