真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
2期
110-114
,共5页
张治国%陈小锰%刘天伟%徐军%邓新禄%董闯
張治國%陳小錳%劉天偉%徐軍%鄧新祿%董闖
장치국%진소맹%류천위%서군%산신록%동틈
ECR非平衡磁控溅射%朗谬尔探针%等离子体%诊断
ECR非平衡磁控濺射%朗謬爾探針%等離子體%診斷
ECR비평형자공천사%랑류이탐침%등리자체%진단
利用朗谬尔探针诊断了ECR非平衡磁控溅射等离子体,给出了微观等离子体参量随宏观工艺参量变化关系.实验测得基片架附近等离子体密度达到1010～1011数量级,电子温度在(5～10) eV之间.随溅射靶功率变化,等离子体密度在130W时取得最大值;同样随微波源功率变化,等离子体密度在功率为850W时也达到最大值.电子温度、等离子体空间电位变化与等离子体密度呈相同趋势.
利用朗謬爾探針診斷瞭ECR非平衡磁控濺射等離子體,給齣瞭微觀等離子體參量隨宏觀工藝參量變化關繫.實驗測得基片架附近等離子體密度達到1010～1011數量級,電子溫度在(5～10) eV之間.隨濺射靶功率變化,等離子體密度在130W時取得最大值;同樣隨微波源功率變化,等離子體密度在功率為850W時也達到最大值.電子溫度、等離子體空間電位變化與等離子體密度呈相同趨勢.
이용랑류이탐침진단료ECR비평형자공천사등리자체,급출료미관등리자체삼량수굉관공예삼량변화관계.실험측득기편가부근등리자체밀도체도1010～1011수량급,전자온도재(5～10) eV지간.수천사파공솔변화,등리자체밀도재130W시취득최대치;동양수미파원공솔변화,등리자체밀도재공솔위850W시야체도최대치.전자온도、등리자체공간전위변화여등리자체밀도정상동추세.
