半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2005年
1期
202-208
,共7页
喻文健%陆涛涛%王泽毅%洪先龙
喻文健%陸濤濤%王澤毅%洪先龍
유문건%륙도도%왕택의%홍선룡
超大规模集成电路%互连线%电容矩阵%层次式计算%边界元法
超大規模集成電路%互連線%電容矩陣%層次式計算%邊界元法
초대규모집성전로%호련선%전용구진%층차식계산%변계원법
基于直接边界元素法,提出一种边界电容矩阵概念,从而实现了三维互连电容的层次式提取算法.该算法将三维求解区域划分为若干小块,对每个小块分别计算其边界电容矩阵,再通过层次式合并算法便可得到全耦合互连电容矩阵.数值实验表明,本方法进行电容提取的速度比商业软件SpiceLink、虚拟多介质快速算法、区域分解法等均快一个数量级以上.
基于直接邊界元素法,提齣一種邊界電容矩陣概唸,從而實現瞭三維互連電容的層次式提取算法.該算法將三維求解區域劃分為若榦小塊,對每箇小塊分彆計算其邊界電容矩陣,再通過層次式閤併算法便可得到全耦閤互連電容矩陣.數值實驗錶明,本方法進行電容提取的速度比商業軟件SpiceLink、虛擬多介質快速算法、區域分解法等均快一箇數量級以上.
기우직접변계원소법,제출일충변계전용구진개념,종이실현료삼유호련전용적층차식제취산법.해산법장삼유구해구역화분위약간소괴,대매개소괴분별계산기변계전용구진,재통과층차식합병산법편가득도전우합호련전용구진.수치실험표명,본방법진행전용제취적속도비상업연건SpiceLink、허의다개질쾌속산법、구역분해법등균쾌일개수량급이상.
