真空
真空
진공
VACUUM
2007年
4期
33-35
,共3页
魏海波%孙清%张君薇%池世春
魏海波%孫清%張君薇%池世春
위해파%손청%장군미%지세춘
泡沫镍%磁控溅射%海绵%卷绕系统
泡沫鎳%磁控濺射%海綿%捲繞繫統
포말얼%자공천사%해면%권요계통
本文介绍了海绵卷绕真空磁控溅射镀膜设备的结构及其特点,采用独特的传动机构,靶极结构及控制方式实现了海绵连续卷绕真空磁控溅射镀膜.
本文介紹瞭海綿捲繞真空磁控濺射鍍膜設備的結構及其特點,採用獨特的傳動機構,靶極結構及控製方式實現瞭海綿連續捲繞真空磁控濺射鍍膜.
본문개소료해면권요진공자공천사도막설비적결구급기특점,채용독특적전동궤구,파겁결구급공제방식실현료해면련속권요진공자공천사도막.
