长春理工大学学报（自然科学版）
長春理工大學學報（自然科學版）
장춘리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2008年
1期
57-59,56
,共4页
刘东月%姜淑华%陈方涵%王文生
劉東月%薑淑華%陳方涵%王文生
류동월%강숙화%진방함%왕문생
显微物镜%数字图像处理%微小物体%高精度%非接触
顯微物鏡%數字圖像處理%微小物體%高精度%非接觸
현미물경%수자도상처리%미소물체%고정도%비접촉
把光学非接触、高精度的测试技术与电子图像细分(像素)技术相结合,把光电检测方法和计算机数字图象处理方法相结合,研制了显徽-CCD-微机系统,编制了VC++测试和控制软件.利用该系统,实现了微小物体的非接触、高精度、自动测试,解决了微米加工技术中微小物体的尺寸测试问题.作为实例,测试了玻璃微珠(半径17～31μm)的球度.实验表明,通过增大测量显微物镜的放大倍率(例如10倍),测试系统可以满足1μ的精度要求.
把光學非接觸、高精度的測試技術與電子圖像細分(像素)技術相結閤,把光電檢測方法和計算機數字圖象處理方法相結閤,研製瞭顯徽-CCD-微機繫統,編製瞭VC++測試和控製軟件.利用該繫統,實現瞭微小物體的非接觸、高精度、自動測試,解決瞭微米加工技術中微小物體的呎吋測試問題.作為實例,測試瞭玻璃微珠(半徑17～31μm)的毬度.實驗錶明,通過增大測量顯微物鏡的放大倍率(例如10倍),測試繫統可以滿足1μ的精度要求.
파광학비접촉、고정도적측시기술여전자도상세분(상소)기술상결합,파광전검측방법화계산궤수자도상처리방법상결합,연제료현휘-CCD-미궤계통,편제료VC++측시화공제연건.이용해계통,실현료미소물체적비접촉、고정도、자동측시,해결료미미가공기술중미소물체적척촌측시문제.작위실례,측시료파리미주(반경17～31μm)적구도.실험표명,통과증대측량현미물경적방대배솔(례여10배),측시계통가이만족1μ적정도요구.
