材料科学与工程学报
材料科學與工程學報
재료과학여공정학보
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2008年
2期
177-180
,共4页
WOx:Ni薄膜%电致变色%掺杂%磁控溅射
WOx:Ni薄膜%電緻變色%摻雜%磁控濺射
WOx:Ni박막%전치변색%참잡%자공천사
采用磁控溅射工艺,以纯钨和纯镍为靶材在ITO玻璃上制备Ni掺杂WOx电致变色薄膜,研究了Ni掺杂对WOx薄膜电致变色性能和微观结构的影响机理.实验结果表明:均匀掺杂少量的Ni可改变WOx薄膜内部的缺陷分布及结构,提高薄膜的电致变色性能.XRD分析表明,掺杂后的WOx:Ni薄膜为非晶态;XPS分析表明:WOx:Ni薄膜中的Ni为Ni2+.
採用磁控濺射工藝,以純鎢和純鎳為靶材在ITO玻璃上製備Ni摻雜WOx電緻變色薄膜,研究瞭Ni摻雜對WOx薄膜電緻變色性能和微觀結構的影響機理.實驗結果錶明:均勻摻雜少量的Ni可改變WOx薄膜內部的缺陷分佈及結構,提高薄膜的電緻變色性能.XRD分析錶明,摻雜後的WOx:Ni薄膜為非晶態;XPS分析錶明:WOx:Ni薄膜中的Ni為Ni2+.
채용자공천사공예,이순오화순얼위파재재ITO파리상제비Ni참잡WOx전치변색박막,연구료Ni참잡대WOx박막전치변색성능화미관결구적영향궤리.실험결과표명:균균참잡소량적Ni가개변WOx박막내부적결함분포급결구,제고박막적전치변색성능.XRD분석표명,참잡후적WOx:Ni박막위비정태;XPS분석표명:WOx:Ni박막중적Ni위Ni2+.
