电子与封装
電子與封裝
전자여봉장
EIECTRONICS AND PACKAGING
2011年
2期
34-38
,共5页
刘小玲%罗荣辉%张操%郭小伟
劉小玲%囉榮輝%張操%郭小偉
류소령%라영휘%장조%곽소위
光声光谱%气体探测%硅微电容传声器%驻极体
光聲光譜%氣體探測%硅微電容傳聲器%駐極體
광성광보%기체탐측%규미전용전성기%주겁체
光声光谱法气体探测技术具有灵敏度高、选择性高、不消耗被测量气体等优点,在现代工农业、环境监测,生物技术等领域发挥着重要的作用.随着这些领域的发展,人们对气体探测器的综合性能要求越来越高,因而光声气体探测器得到了良好的发展和应用.基于光声光谱法探测气体是利用气体光声效应原理,其中传声器是气体探测系统的一个重要声电转换器件.文章介绍了光声光谱法气体探测的基本原理,光声效应产生机理,阐述了电容式传声器、驻极体传声器和悬臂式微传声器的研究进展及其与光声光谱法相结合在气体探测领域的应用现状.详细介绍了几种传声器的优缺点,并展望了高灵敏微传声器的发展及其应用意义.
光聲光譜法氣體探測技術具有靈敏度高、選擇性高、不消耗被測量氣體等優點,在現代工農業、環境鑑測,生物技術等領域髮揮著重要的作用.隨著這些領域的髮展,人們對氣體探測器的綜閤性能要求越來越高,因而光聲氣體探測器得到瞭良好的髮展和應用.基于光聲光譜法探測氣體是利用氣體光聲效應原理,其中傳聲器是氣體探測繫統的一箇重要聲電轉換器件.文章介紹瞭光聲光譜法氣體探測的基本原理,光聲效應產生機理,闡述瞭電容式傳聲器、駐極體傳聲器和懸臂式微傳聲器的研究進展及其與光聲光譜法相結閤在氣體探測領域的應用現狀.詳細介紹瞭幾種傳聲器的優缺點,併展望瞭高靈敏微傳聲器的髮展及其應用意義.
광성광보법기체탐측기술구유령민도고、선택성고、불소모피측량기체등우점,재현대공농업、배경감측,생물기술등영역발휘착중요적작용.수착저사영역적발전,인문대기체탐측기적종합성능요구월래월고,인이광성기체탐측기득도료량호적발전화응용.기우광성광보법탐측기체시이용기체광성효응원리,기중전성기시기체탐측계통적일개중요성전전환기건.문장개소료광성광보법기체탐측적기본원리,광성효응산생궤리,천술료전용식전성기、주겁체전성기화현비식미전성기적연구진전급기여광성광보법상결합재기체탐측영역적응용현상.상세개소료궤충전성기적우결점,병전망료고령민미전성기적발전급기응용의의.
