光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
11期
2644-2650
,共7页
同步辐射%压弯机构%水平偏转%面形误差%补偿
同步輻射%壓彎機構%水平偏轉%麵形誤差%補償
동보복사%압만궤구%수평편전%면형오차%보상
为提高同步辐射压弯镜面形精度,降低水平偏转压弯机构及镜子自重对压弯镜面形的影响,分析了影响压弯镜面形精度的因素,并提出了一种有效的重力平衡补偿方法.在研究水平偏转压弯机构压弯机理的基础上,对压弯镜面形进行误差分析；针对光束线中使用的压弯聚焦镜,利用有限元方法分析了影响面形精度的主要因素；最后,根据水平偏转压弯机构特点及误差分析结果,提出了重力平衡补偿方法.研究显示,镜子自重和冷却装置的重力对压弯镜面形的影响主要表现为柱面镜母线的弯曲,驱动杆重力对压弯镜面形的影响主要体现在子午斜率误差上.利用重力平衡方法对压弯镜面形误差进行补偿,结果显示,柱面镜母线产生的斜率误差均方根值由13.14 μrad减小到0.15 μrad,镜面在子午方向的斜率误差均方根值由8.21 μrad减小到0.86 μrad.由此表明,压弯镜面形误差分析及补偿方法行之有效,显著提高了水平偏转压弯镜的面形精度.
為提高同步輻射壓彎鏡麵形精度,降低水平偏轉壓彎機構及鏡子自重對壓彎鏡麵形的影響,分析瞭影響壓彎鏡麵形精度的因素,併提齣瞭一種有效的重力平衡補償方法.在研究水平偏轉壓彎機構壓彎機理的基礎上,對壓彎鏡麵形進行誤差分析；針對光束線中使用的壓彎聚焦鏡,利用有限元方法分析瞭影響麵形精度的主要因素；最後,根據水平偏轉壓彎機構特點及誤差分析結果,提齣瞭重力平衡補償方法.研究顯示,鏡子自重和冷卻裝置的重力對壓彎鏡麵形的影響主要錶現為柱麵鏡母線的彎麯,驅動桿重力對壓彎鏡麵形的影響主要體現在子午斜率誤差上.利用重力平衡方法對壓彎鏡麵形誤差進行補償,結果顯示,柱麵鏡母線產生的斜率誤差均方根值由13.14 μrad減小到0.15 μrad,鏡麵在子午方嚮的斜率誤差均方根值由8.21 μrad減小到0.86 μrad.由此錶明,壓彎鏡麵形誤差分析及補償方法行之有效,顯著提高瞭水平偏轉壓彎鏡的麵形精度.
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