仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2012年
6期
1377-1384
,共8页
免形状测量%气浮导轨%共平面结构%直线电机
免形狀測量%氣浮導軌%共平麵結構%直線電機
면형상측량%기부도궤%공평면결구%직선전궤
为了高精度高效率地测量数学模型未知的复杂几何形状,介绍了“免形状测量模式”,分析了该测量模式对仪器的基本要求,基于该模式设计了一台移动工作台式测量机.测量机以直线电机为驱动元件,以高精度长光栅为测量元件.为减小被测件重量对测量机的影响,设计了封闭式真空负压的空气静压气浮导轨和共平面的H形二维结构.设计了具有制动功能的Z轴和气浮隔振等关键部件.仪器量程为300 mm × 300 mm×300 mm,测量不确定度为1.8μm,能测量数学模型未知的复杂几何形状.
為瞭高精度高效率地測量數學模型未知的複雜幾何形狀,介紹瞭“免形狀測量模式”,分析瞭該測量模式對儀器的基本要求,基于該模式設計瞭一檯移動工作檯式測量機.測量機以直線電機為驅動元件,以高精度長光柵為測量元件.為減小被測件重量對測量機的影響,設計瞭封閉式真空負壓的空氣靜壓氣浮導軌和共平麵的H形二維結構.設計瞭具有製動功能的Z軸和氣浮隔振等關鍵部件.儀器量程為300 mm × 300 mm×300 mm,測量不確定度為1.8μm,能測量數學模型未知的複雜幾何形狀.
위료고정도고효솔지측량수학모형미지적복잡궤하형상,개소료“면형상측량모식”,분석료해측량모식대의기적기본요구,기우해모식설계료일태이동공작태식측량궤.측량궤이직선전궤위구동원건,이고정도장광책위측량원건.위감소피측건중량대측량궤적영향,설계료봉폐식진공부압적공기정압기부도궤화공평면적H형이유결구.설계료구유제동공능적Z축화기부격진등관건부건.의기량정위300 mm × 300 mm×300 mm,측량불학정도위1.8μm,능측량수학모형미지적복잡궤하형상.
