微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2002年
3期
17-22
,共6页
彭开武%顾文琪%张福安%吴桂君
彭開武%顧文琪%張福安%吳桂君
팽개무%고문기%장복안%오계군
缩小投影电子束曝光%照明束%角度限制光阑%反差
縮小投影電子束曝光%照明束%角度限製光闌%反差
축소투영전자속폭광%조명속%각도한제광란%반차
结合原理说明了理想条件下的照明束与角度限制光阑可获得最佳成像反差,详细讨论了照明束与角度限制光阑处于非理想情况时对成像反差的影响及理想条件的调试方法.
結閤原理說明瞭理想條件下的照明束與角度限製光闌可穫得最佳成像反差,詳細討論瞭照明束與角度限製光闌處于非理想情況時對成像反差的影響及理想條件的調試方法.
결합원리설명료이상조건하적조명속여각도한제광란가획득최가성상반차,상세토론료조명속여각도한제광란처우비이상정황시대성상반차적영향급이상조건적조시방법.
