南昌大学学报（理科版）
南昌大學學報（理科版）
남창대학학보（이과판）
JOURNAL OF NANCHANG UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2005年
6期
610-612
,共3页
王震东%赖珍荃%范定环%张景基%黄志明
王震東%賴珍荃%範定環%張景基%黃誌明
왕진동%뢰진전%범정배%장경기%황지명
铁电薄膜%LNO薄膜%射频磁控溅射%红外吸收
鐵電薄膜%LNO薄膜%射頻磁控濺射%紅外吸收
철전박막%LNO박막%사빈자공천사%홍외흡수
用磁控溅射法在Si(111)基片上以不同溅射功率沉积LaNiO3(LNO)薄膜,基片温度370 ℃,对沉积的薄膜样品进行快速热退火处理(500 ℃,10 min).使用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)精确测量不同溅射功率沉积的LNO薄膜退火前后的组分情况.分析发现:LNO薄膜经退火处理后,其中的Ni/La的比值随着溅射功率增大而越接近理想比1:1,其导电性能也越好.另外,我们以相同工艺制备了不同厚度的LNO薄膜顶电极,四探针电阻测试仪和红外椭圆偏振光谱仪测试其电学与红外吸收性能,实验发现:(1)LNO薄膜的电阻率随膜厚的增加而降低,在大约300 nm厚时略又有增加趋势;(2)LNO薄膜的红外吸收系数随其厚度的增加而增加,且随红外波长的增大而减小.
用磁控濺射法在Si(111)基片上以不同濺射功率沉積LaNiO3(LNO)薄膜,基片溫度370 ℃,對沉積的薄膜樣品進行快速熱退火處理(500 ℃,10 min).使用電感耦閤等離子體原子髮射光譜(ICP-AES)精確測量不同濺射功率沉積的LNO薄膜退火前後的組分情況.分析髮現:LNO薄膜經退火處理後,其中的Ni/La的比值隨著濺射功率增大而越接近理想比1:1,其導電性能也越好.另外,我們以相同工藝製備瞭不同厚度的LNO薄膜頂電極,四探針電阻測試儀和紅外橢圓偏振光譜儀測試其電學與紅外吸收性能,實驗髮現:(1)LNO薄膜的電阻率隨膜厚的增加而降低,在大約300 nm厚時略又有增加趨勢;(2)LNO薄膜的紅外吸收繫數隨其厚度的增加而增加,且隨紅外波長的增大而減小.
용자공천사법재Si(111)기편상이불동천사공솔침적LaNiO3(LNO)박막,기편온도370 ℃,대침적적박막양품진행쾌속열퇴화처리(500 ℃,10 min).사용전감우합등리자체원자발사광보(ICP-AES)정학측량불동천사공솔침적적LNO박막퇴화전후적조분정황.분석발현:LNO박막경퇴화처리후,기중적Ni/La적비치수착천사공솔증대이월접근이상비1:1,기도전성능야월호.령외,아문이상동공예제비료불동후도적LNO박막정전겁,사탐침전조측시의화홍외타원편진광보의측시기전학여홍외흡수성능,실험발현:(1)LNO박막적전조솔수막후적증가이강저,재대약300 nm후시략우유증가추세;(2)LNO박막적홍외흡수계수수기후도적증가이증가,차수홍외파장적증대이감소.
