光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2010年
z1期
72-74
,共3页
靳瑞敏%肖东岳%苍利民%阎韬%徐建军%韩香菊
靳瑞敏%肖東嶽%蒼利民%閻韜%徐建軍%韓香菊
근서민%초동악%창이민%염도%서건군%한향국
溶胶-凝胶%SiO2减反膜%催化剂%薄膜结构
溶膠-凝膠%SiO2減反膜%催化劑%薄膜結構
용효-응효%SiO2감반막%최화제%박막결구
以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,乙醇为溶剂,NH3·H20和HC1为催化剂,采用溶胶-凝胶技术,通过调节催化剂控制SiO2纳米颗粒尺度,然后在玻璃上用旋涂法镀膜并对其进行热处理,制备低折射率SiO2减反膜.分别采用椭偏仪和扫描电镜对所制备减反膜的结构、物性进行研究,研究不同性质和剂量的催化剂对薄膜结构、折射率的影响.结果表明:通过控制适量的碱酸催化剂可以制备出低折射率多孔结构的SiO2太阳电池减反膜.
以正硅痠乙酯(TEOS)為有機硅源,乙醇為溶劑,NH3·H20和HC1為催化劑,採用溶膠-凝膠技術,通過調節催化劑控製SiO2納米顆粒呎度,然後在玻璃上用鏇塗法鍍膜併對其進行熱處理,製備低摺射率SiO2減反膜.分彆採用橢偏儀和掃描電鏡對所製備減反膜的結構、物性進行研究,研究不同性質和劑量的催化劑對薄膜結構、摺射率的影響.結果錶明:通過控製適量的堿痠催化劑可以製備齣低摺射率多孔結構的SiO2太暘電池減反膜.
이정규산을지(TEOS)위유궤규원,을순위용제,NH3·H20화HC1위최화제,채용용효-응효기술,통과조절최화제공제SiO2납미과립척도,연후재파리상용선도법도막병대기진행열처리,제비저절사솔SiO2감반막.분별채용타편의화소묘전경대소제비감반막적결구、물성진행연구,연구불동성질화제량적최화제대박막결구、절사솔적영향.결과표명:통과공제괄량적감산최화제가이제비출저절사솔다공결구적SiO2태양전지감반막.
