光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
12期
2884-2890
,共7页
离子束溅射%“日盲”紫外诱导透射滤光片%ZrO2%折射率%消光系数%椭偏光谱
離子束濺射%“日盲”紫外誘導透射濾光片%ZrO2%摺射率%消光繫數%橢偏光譜
리자속천사%“일맹”자외유도투사려광편%ZrO2%절사솔%소광계수%타편광보
对“日盲”紫外诱导透射滤光片进行了理论设计与分析,并分别优化了离子束溅射法沉积ZrO2、SiO2和Al薄膜的工艺.利用反射与透射光谱反演获得了ZrO2和SiO2薄膜的光学常数,并由JGS1/SiO2/Al/SiO2/air (SAS)样品的变角度椭偏光谱反演精确获得了Al薄膜的光学常数.在此基础上,采用离子束溅射沉积方法并利用上述3种薄膜材料优化制备了“日盲”紫外诱导透射滤光片,测量了滤光片的光谱性能.光谱性能分析表明,滤光片的峰值波长位于264 nm,峰值透过率大于60.0％,透过峰带宽(FWHM)约为13 nm,在300～350 nm波段的截止度达到了2.6OD.研究认为制约离子束溅射制备“日盲”紫外诱导透射滤光片性能的主要因素是Al金属膜的溅射沉积速率以及沉积Al膜时腔体中残余的O2含量.
對“日盲”紫外誘導透射濾光片進行瞭理論設計與分析,併分彆優化瞭離子束濺射法沉積ZrO2、SiO2和Al薄膜的工藝.利用反射與透射光譜反縯穫得瞭ZrO2和SiO2薄膜的光學常數,併由JGS1/SiO2/Al/SiO2/air (SAS)樣品的變角度橢偏光譜反縯精確穫得瞭Al薄膜的光學常數.在此基礎上,採用離子束濺射沉積方法併利用上述3種薄膜材料優化製備瞭“日盲”紫外誘導透射濾光片,測量瞭濾光片的光譜性能.光譜性能分析錶明,濾光片的峰值波長位于264 nm,峰值透過率大于60.0％,透過峰帶寬(FWHM)約為13 nm,在300～350 nm波段的截止度達到瞭2.6OD.研究認為製約離子束濺射製備“日盲”紫外誘導透射濾光片性能的主要因素是Al金屬膜的濺射沉積速率以及沉積Al膜時腔體中殘餘的O2含量.
대“일맹”자외유도투사려광편진행료이론설계여분석,병분별우화료리자속천사법침적ZrO2、SiO2화Al박막적공예.이용반사여투사광보반연획득료ZrO2화SiO2박막적광학상수,병유JGS1/SiO2/Al/SiO2/air (SAS)양품적변각도타편광보반연정학획득료Al박막적광학상수.재차기출상,채용리자속천사침적방법병이용상술3충박막재료우화제비료“일맹”자외유도투사려광편,측량료려광편적광보성능.광보성능분석표명,려광편적봉치파장위우264 nm,봉치투과솔대우60.0％,투과봉대관(FWHM)약위13 nm,재300～350 nm파단적절지도체도료2.6OD.연구인위제약리자속천사제비“일맹”자외유도투사려광편성능적주요인소시Al금속막적천사침적속솔이급침적Al막시강체중잔여적O2함량.
