金属有机沉积法制备La2CuMnO6缓冲层薄膜及其结构表征
금속유궤침적법제비La2CuMnO6완충층박막급기결구표정
Synthesis and Structural Characterization of La2CuMnO6 Films Buffer Layer by Metal Organic Deposition
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    MATERIALS REVIEW
    2012年 16期 106-109 ,共4页

    马高峰%雷宁%张国防%郭金亮%白宏斌%冯宝奇%卢亚峰%李成山%闫果

    마고봉%뢰저%장국방%곽금량%백굉빈%풍보기%로아봉%리성산%염과

    金属有机沉积%La2CuMnO6缓冲层%制备及结构表征 金屬有機沉積%La2CuMnO6緩遲層%製備及結構錶徵
    금속유궤침적%La2CuMnO6완충층%제비급결구표정
    利用热重分析(TG)对化学溶液法前驱体混合物的热分解过程进行研究,确定了预分解温度;利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对金属有机沉积法(MOD)合成的La2CuMnO6薄膜的相组成和形貌结构进行了表征.结果表明,选择合适的前驱体La(CH3COO)3·1.5H2O、Cu(CH3COO)2·1.0H2O、Mn(CH3COO)2·4.0H2O,在1000℃、保温时间3h、SrTiO3(STO)(100)、Ar-4％ H2气氛及总离子浓度1.0mol/L的工艺条件下制备的La2CuMnO6薄膜具有很好的c轴织构,薄膜表面较平整、均匀、无裂纹、无孔洞,分布均匀且排列致密,完全满足缓冲层对薄膜的要求.
    이용열중분석(TG)대화학용액법전구체혼합물적열분해과정진행연구,학정료예분해온도;이용X사선연사(XRD)화원자력현미경(AFM)대금속유궤침적법(MOD)합성적La2CuMnO6박막적상조성화형모결구진행료표정.결과표명,선택합괄적전구체La(CH3COO)3·1.5H2O、Cu(CH3COO)2·1.0H2O、Mn(CH3COO)2·4.0H2O,재1000℃、보온시간3h、SrTiO3(STO)(100)、Ar-4％ H2기분급총리자농도1.0mol/L적공예조건하제비적La2CuMnO6박막구유흔호적c축직구,박막표면교평정、균균、무렬문、무공동,분포균균차배렬치밀,완전만족완충층대박막적요구.
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