CAJ | 학술논문

万方数据

真空科学与技术学报 진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年 z1期 98-100 ,共3页

Ma Zhanjie%马占洁%陈光华%何斌%刘国汉%朱秀红%张文理%李志中%郜志华%宋雪梅%邓金祥

Ma Zhanjie%마점길%진광화%하빈%류국한%주수홍%장문리%리지중%고지화%송설매%산금상

a-Si:H%光衰退稳定性%氢运动%微晶硅 a-Si:H%光衰退穩定性%氫運動%微晶硅
a-Si:H%광쇠퇴은정성%경운동%미정규

用热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积制备样品,通过红外吸收谱图和光衰退图,分析影响a-Si:H薄膜光衰退稳定性的因素:一方面,非晶硅网格中氢含量、氢硅键合方式以及氢的运动情况均对非晶硅材料的稳定性起着十分重要的作用,另一方面,在非晶硅的基体上生长少量微晶硅,可提高薄膜的稳定性.最终希望能通过两者的结合来探讨如何制备高光敏性和低光致衰退的非晶硅薄膜.
용열사보조미파전자회선공진화학기상침적제비양품,통과홍외흡수보도화광쇠퇴도,분석영향a-Si:H박막광쇠퇴은정성적인소:일방면,비정규망격중경함량、경규건합방식이급경적운동정황균대비정규재료적은정성기착십분중요적작용,령일방면,재비정규적기체상생장소량미정규,가제고박막적은정성.최종희망능통과량자적결합래탐토여하제비고광민성화저광치쇠퇴적비정규박막.