光学光刻机的未来技术
광학광각궤적미래기술
Innovative Technics of Optical Lithography Tool in the Near Future
  • 万方数据
    电子工业专用设备 전자공업전용설비
    EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
    2011年 11期 18-25 ,共8页

    程建瑞

    정건서

    集成电路技术%光刻机%光学%IC技术%路线图 集成電路技術%光刻機%光學%IC技術%路線圖
    집성전로기술%광각궤%광학%IC기술%로선도
    1集成电路技术路线图 1．1IC技术的历史与未来
    1집성전로기술로선도 1．1IC기술적역사여미래
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