红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2011年
6期
328-331,344
,共5页
钱大憨%贾嘉%陈昱%王韡%汤亦聃%朱龙源%李向阳
錢大憨%賈嘉%陳昱%王韡%湯亦聃%硃龍源%李嚮暘
전대감%가가%진욱%왕위%탕역담%주룡원%리향양
曲面延伸电极%光导型碲镉汞红外探测器%电阻表征%扫描电子显微镜%微观形貌
麯麵延伸電極%光導型碲鎘汞紅外探測器%電阻錶徵%掃描電子顯微鏡%微觀形貌
곡면연신전겁%광도형제력홍홍외탐측기%전조표정%소묘전자현미경%미관형모
制备了一种带有曲面延伸电极结构的碲镉汞光导型红外探测器,对曲面延伸电极的抗低温冲击能力进行了研究,在9次的液氮直接冲击下曲面延伸电极完好,器件电阻无大变化.通过扫描电子显微镜(SEM)对曲面延伸电极的台阶侧面微观形貌进行观察,发现在延伸台阶的侧面有孔洞出现.通过改进镀膜工艺,延伸台阶侧面的金属薄膜致密无孔洞.这表明宏观的电阻表征对微观缺陷不敏感,对电极可靠性的表征要结合微观形貌表征进行;同时适当的薄膜制备条件可以使大台阶侧面获得致密的金属薄膜,从而获得良好的台阶覆盖性.
製備瞭一種帶有麯麵延伸電極結構的碲鎘汞光導型紅外探測器,對麯麵延伸電極的抗低溫遲擊能力進行瞭研究,在9次的液氮直接遲擊下麯麵延伸電極完好,器件電阻無大變化.通過掃描電子顯微鏡(SEM)對麯麵延伸電極的檯階側麵微觀形貌進行觀察,髮現在延伸檯階的側麵有孔洞齣現.通過改進鍍膜工藝,延伸檯階側麵的金屬薄膜緻密無孔洞.這錶明宏觀的電阻錶徵對微觀缺陷不敏感,對電極可靠性的錶徵要結閤微觀形貌錶徵進行;同時適噹的薄膜製備條件可以使大檯階側麵穫得緻密的金屬薄膜,從而穫得良好的檯階覆蓋性.
제비료일충대유곡면연신전겁결구적제력홍광도형홍외탐측기,대곡면연신전겁적항저온충격능력진행료연구,재9차적액담직접충격하곡면연신전겁완호,기건전조무대변화.통과소묘전자현미경(SEM)대곡면연신전겁적태계측면미관형모진행관찰,발현재연신태계적측면유공동출현.통과개진도막공예,연신태계측면적금속박막치밀무공동.저표명굉관적전조표정대미관결함불민감,대전겁가고성적표정요결합미관형모표정진행;동시괄당적박막제비조건가이사대태계측면획득치밀적금속박막,종이획득량호적태계복개성.
