材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2010年
z2期
373-375,380
,共4页
郭瑞%李东临%王怡%武光明%邢光建
郭瑞%李東臨%王怡%武光明%邢光建
곽서%리동림%왕이%무광명%형광건
Mg0.1Zn0.9O薄膜%射频磁控溅射%衬底温度%光致发光(PL)谱
Mg0.1Zn0.9O薄膜%射頻磁控濺射%襯底溫度%光緻髮光(PL)譜
Mg0.1Zn0.9O박막%사빈자공천사%츤저온도%광치발광(PL)보
利用射频磁控溅射技术在不同温度的(100)Si和玻璃衬底上成功地制备了c轴择优取向的Mg0.1Zn0.9O薄膜.通过X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)、紫外可见光分光光度计和光致发光谱研究了衬底温度对Mg0.1Zn0.9O薄膜结构、表面形貌和光学性能的影响,结果表明,在衬底温度为400℃时生长的Mg0.1Zn0.9O薄膜具有很好的c轴取向和较好的光学性能.用激发波长为300nm的氙灯作为激发光源得到不同衬底温度下Mg0.1Zn0.9O薄膜的室温PL谱.分析表明,紫外发光峰与薄膜的结晶质量密切相关,蓝光发射与氧空位有关.简单探讨了衬底温度影响紫外光致发光峰红移和蓝移的可能机理.
利用射頻磁控濺射技術在不同溫度的(100)Si和玻璃襯底上成功地製備瞭c軸擇優取嚮的Mg0.1Zn0.9O薄膜.通過X射線衍射(XRD)、場髮射掃描電鏡(FESEM)、紫外可見光分光光度計和光緻髮光譜研究瞭襯底溫度對Mg0.1Zn0.9O薄膜結構、錶麵形貌和光學性能的影響,結果錶明,在襯底溫度為400℃時生長的Mg0.1Zn0.9O薄膜具有很好的c軸取嚮和較好的光學性能.用激髮波長為300nm的氙燈作為激髮光源得到不同襯底溫度下Mg0.1Zn0.9O薄膜的室溫PL譜.分析錶明,紫外髮光峰與薄膜的結晶質量密切相關,藍光髮射與氧空位有關.簡單探討瞭襯底溫度影響紫外光緻髮光峰紅移和藍移的可能機理.
이용사빈자공천사기술재불동온도적(100)Si화파리츤저상성공지제비료c축택우취향적Mg0.1Zn0.9O박막.통과X사선연사(XRD)、장발사소묘전경(FESEM)、자외가견광분광광도계화광치발광보연구료츤저온도대Mg0.1Zn0.9O박막결구、표면형모화광학성능적영향,결과표명,재츤저온도위400℃시생장적Mg0.1Zn0.9O박막구유흔호적c축취향화교호적광학성능.용격발파장위300nm적선등작위격발광원득도불동츤저온도하Mg0.1Zn0.9O박막적실온PL보.분석표명,자외발광봉여박막적결정질량밀절상관,람광발사여양공위유관.간단탐토료츤저온도영향자외광치발광봉홍이화람이적가능궤리.
