电子测量与仪器学报
電子測量與儀器學報
전자측량여의기학보
JOURNAL OF ELECTRONIC MEASUREMENT AND INSTRUMENT
2009年
z1期
327-331
,共5页
MEMS%移相器%馈电%MAM
MEMS%移相器%饋電%MAM
MEMS%이상기%궤전%MAM
提出一种RFMEMS移相器馈电结构的设计,在MEMS开关中加入MAM电容.MEMS移相器金属桥开关的馈电可以通过MAM电容,空气桥和偏置线来实现的.通过这种方法,不但实现了数字式控制,而且引入相对稳定的电容值,改善了开态和关态的电容比,提高了MEMS移相器的性能.
提齣一種RFMEMS移相器饋電結構的設計,在MEMS開關中加入MAM電容.MEMS移相器金屬橋開關的饋電可以通過MAM電容,空氣橋和偏置線來實現的.通過這種方法,不但實現瞭數字式控製,而且引入相對穩定的電容值,改善瞭開態和關態的電容比,提高瞭MEMS移相器的性能.
제출일충RFMEMS이상기궤전결구적설계,재MEMS개관중가입MAM전용.MEMS이상기금속교개관적궤전가이통과MAM전용,공기교화편치선래실현적.통과저충방법,불단실현료수자식공제,이차인입상대은정적전용치,개선료개태화관태적전용비,제고료MEMS이상기적성능.