原子与分子物理学报
原子與分子物理學報
원자여분자물이학보
CHINESE JOURNAL OF ATOMIC AND MOLECULAR PHYSICS
2009年
1期
188-192
,共5页
谭天亚%陈俊杰%江雪%李春梅%苏宇%吴炜
譚天亞%陳俊傑%江雪%李春梅%囌宇%吳煒
담천아%진준걸%강설%리춘매%소우%오위
Monte Carlo模拟%薄膜生长%薄膜覆盖度%沉积速率
Monte Carlo模擬%薄膜生長%薄膜覆蓋度%沉積速率
Monte Carlo모의%박막생장%박막복개도%침적속솔
利用Monte Carlo(MC)方法,模拟研究了六方晶格基底上薄膜生长的初始阶段岛的形貌和岛的尺寸与薄膜覆盖度以及入射粒子沉积速率之间的关系. 结果表明在基底温度为300K时,岛的形貌主要表现为分形生长,随着薄膜覆盖度的增加,岛的分形枝簇变大,岛的数目不断减少. 在同样的温度下,随着入射粒子沉积速率的增大,薄膜表面的形貌逐步由少数聚集型岛核分布状态向众多各自独立的离散型岛核分布状态过渡. 进一步研究得出,薄膜覆盖度和入射粒子沉积速率对粒子扩散能力的影响最终导致岛的形貌发生了改变.
利用Monte Carlo(MC)方法,模擬研究瞭六方晶格基底上薄膜生長的初始階段島的形貌和島的呎吋與薄膜覆蓋度以及入射粒子沉積速率之間的關繫. 結果錶明在基底溫度為300K時,島的形貌主要錶現為分形生長,隨著薄膜覆蓋度的增加,島的分形枝簇變大,島的數目不斷減少. 在同樣的溫度下,隨著入射粒子沉積速率的增大,薄膜錶麵的形貌逐步由少數聚集型島覈分佈狀態嚮衆多各自獨立的離散型島覈分佈狀態過渡. 進一步研究得齣,薄膜覆蓋度和入射粒子沉積速率對粒子擴散能力的影響最終導緻島的形貌髮生瞭改變.
이용Monte Carlo(MC)방법,모의연구료륙방정격기저상박막생장적초시계단도적형모화도적척촌여박막복개도이급입사입자침적속솔지간적관계. 결과표명재기저온도위300K시,도적형모주요표현위분형생장,수착박막복개도적증가,도적분형지족변대,도적수목불단감소. 재동양적온도하,수착입사입자침적속솔적증대,박막표면적형모축보유소수취집형도핵분포상태향음다각자독립적리산형도핵분포상태과도. 진일보연구득출,박막복개도화입사입자침적속솔대입자확산능력적영향최종도치도적형모발생료개변.
