光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2009年
3期
399-401,405
,共4页
光学测量%共焦系统%位相型光瞳%离焦特性%表面轮廓%超分辨滤波
光學測量%共焦繫統%位相型光瞳%離焦特性%錶麵輪廓%超分辨濾波
광학측량%공초계통%위상형광동%리초특성%표면륜곽%초분변려파
分析了共焦显微系统(CMS)离焦状态工作时分辨特性的变化,指出了离焦状态是导致CMS横向分辨特性变差的主要影响因素之一.提出并采用了位相型超分辨光瞳滤波技术来改善CMS工作在离焦状态下的横向分辨特性,分析了超分辨光瞳滤波器位置变化对CMS横向分辨特性的影响.理论分析和实验验证表明,位相型超分辨光瞳滤波技术的引入,显著抑制了CMS工作在离焦状态时艾里斑旁瓣的增长,克服了CMS因工作在离焦状态而引起的横向分辨特性下降的缺点.
分析瞭共焦顯微繫統(CMS)離焦狀態工作時分辨特性的變化,指齣瞭離焦狀態是導緻CMS橫嚮分辨特性變差的主要影響因素之一.提齣併採用瞭位相型超分辨光瞳濾波技術來改善CMS工作在離焦狀態下的橫嚮分辨特性,分析瞭超分辨光瞳濾波器位置變化對CMS橫嚮分辨特性的影響.理論分析和實驗驗證錶明,位相型超分辨光瞳濾波技術的引入,顯著抑製瞭CMS工作在離焦狀態時艾裏斑徬瓣的增長,剋服瞭CMS因工作在離焦狀態而引起的橫嚮分辨特性下降的缺點.
분석료공초현미계통(CMS)리초상태공작시분변특성적변화,지출료리초상태시도치CMS횡향분변특성변차적주요영향인소지일.제출병채용료위상형초분변광동려파기술래개선CMS공작재리초상태하적횡향분변특성,분석료초분변광동려파기위치변화대CMS횡향분변특성적영향.이론분석화실험험증표명,위상형초분변광동려파기술적인입,현저억제료CMS공작재리초상태시애리반방판적증장,극복료CMS인공작재리초상태이인기적횡향분변특성하강적결점.
