广州化工
廣州化工
엄주화공
GUANGZHOU CHEMICAL INDUSTRY AND TECHNOLOGY
2008年
5期
44-46
,共3页
ZnO薄膜%椭偏仪%X射线衍射仪
ZnO薄膜%橢偏儀%X射線衍射儀
ZnO박막%타편의%X사선연사의
采用磁控溅射技术在SiO2基底卜制备了ZnO薄膜.通过椭偏仪和X射线衍射仪(XRD)对薄膜光学特性、内部结构的表征,分析了氧气浓度和溅射功率对薄膜折射率、消光系数以及C轴晶格生长的影响.结果表明:氧气浓度的增加使薄膜的折射率变大,消光系数减小;氧气浓度从20%增至40%时,C轴晶向生长增强,当氧气浓度继续增加,C轴晶向生长受抑;溅射功率对薄膜的光学特性影响较小,对薄膜生长结构影响显著;当工作电流由1.0 A增加至1.5 A,C轴择优生长增强,当电流继续增加,C轴晶向减弱.
採用磁控濺射技術在SiO2基底蔔製備瞭ZnO薄膜.通過橢偏儀和X射線衍射儀(XRD)對薄膜光學特性、內部結構的錶徵,分析瞭氧氣濃度和濺射功率對薄膜摺射率、消光繫數以及C軸晶格生長的影響.結果錶明:氧氣濃度的增加使薄膜的摺射率變大,消光繫數減小;氧氣濃度從20%增至40%時,C軸晶嚮生長增彊,噹氧氣濃度繼續增加,C軸晶嚮生長受抑;濺射功率對薄膜的光學特性影響較小,對薄膜生長結構影響顯著;噹工作電流由1.0 A增加至1.5 A,C軸擇優生長增彊,噹電流繼續增加,C軸晶嚮減弱.
채용자공천사기술재SiO2기저복제비료ZnO박막.통과타편의화X사선연사의(XRD)대박막광학특성、내부결구적표정,분석료양기농도화천사공솔대박막절사솔、소광계수이급C축정격생장적영향.결과표명:양기농도적증가사박막적절사솔변대,소광계수감소;양기농도종20%증지40%시,C축정향생장증강,당양기농도계속증가,C축정향생장수억;천사공솔대박막적광학특성영향교소,대박막생장결구영향현저;당공작전류유1.0 A증가지1.5 A,C축택우생장증강,당전류계속증가,C축정향감약.
