材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2008年
Z2期
301-304
,共4页
杨晓朋%宋平新%王新昌%姚宁%张兵临
楊曉朋%宋平新%王新昌%姚寧%張兵臨
양효붕%송평신%왕신창%요저%장병림
压电薄膜%金刚石%声表面波
壓電薄膜%金剛石%聲錶麵波
압전박막%금강석%성표면파
移动通信技术的迅猛发展扩大了高频声表面波(sAw)器件的应用范围,金刚石因具有最高的声表面波传播速度而使得压电薄膜/金刚石多层结构成为高频声表面波器件的首选材料.综述了ZnO/diamond、A1N/diamond和LiNbO3/diamond多层结构声表面波特性理论研究及实验研究进展,并展望了其今后的发展趋势.
移動通信技術的迅猛髮展擴大瞭高頻聲錶麵波(sAw)器件的應用範圍,金剛石因具有最高的聲錶麵波傳播速度而使得壓電薄膜/金剛石多層結構成為高頻聲錶麵波器件的首選材料.綜述瞭ZnO/diamond、A1N/diamond和LiNbO3/diamond多層結構聲錶麵波特性理論研究及實驗研究進展,併展望瞭其今後的髮展趨勢.
이동통신기술적신맹발전확대료고빈성표면파(sAw)기건적응용범위,금강석인구유최고적성표면파전파속도이사득압전박막/금강석다층결구성위고빈성표면파기건적수선재료.종술료ZnO/diamond、A1N/diamond화LiNbO3/diamond다층결구성표면파특성이론연구급실험연구진전,병전망료기금후적발전추세.
