光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2008年
7期
1301-1306
,共6页
光学测量%动态误差补偿%参量连续性%细分误差%光栅纳米测量
光學測量%動態誤差補償%參量連續性%細分誤差%光柵納米測量
광학측량%동태오차보상%삼량련속성%세분오차%광책납미측량
缺乏有效的误差补偿方法足制约长光栅测最精度提高的关键原因之一.提出一种动态的误差补偿方法.可以消除由直流漂移、两路信号不等幅和非止交导致的细分误差.其原理是跟踪光栅信号在一个周期上的8个特征值点(正余弦信号的过零点及绝对值交点),从特征值点的幅度值中首先分解出正弦信号的直流漂移误差.对其进行补偿;然后继续跟踪补偿后的信号.从中义能分解出余弦信号的直流漂移误差.再补偿.再跟踪.又能依次分解出不等幅误差和非正交误差.最多只需要3个光栅信号周期,就能对三种误差依次实现补偿.分析了谐波对该方法的影响并提出r改进措施.实验证实了该方法的有效性.
缺乏有效的誤差補償方法足製約長光柵測最精度提高的關鍵原因之一.提齣一種動態的誤差補償方法.可以消除由直流漂移、兩路信號不等幅和非止交導緻的細分誤差.其原理是跟蹤光柵信號在一箇週期上的8箇特徵值點(正餘絃信號的過零點及絕對值交點),從特徵值點的幅度值中首先分解齣正絃信號的直流漂移誤差.對其進行補償;然後繼續跟蹤補償後的信號.從中義能分解齣餘絃信號的直流漂移誤差.再補償.再跟蹤.又能依次分解齣不等幅誤差和非正交誤差.最多隻需要3箇光柵信號週期,就能對三種誤差依次實現補償.分析瞭諧波對該方法的影響併提齣r改進措施.實驗證實瞭該方法的有效性.
결핍유효적오차보상방법족제약장광책측최정도제고적관건원인지일.제출일충동태적오차보상방법.가이소제유직류표이、량로신호불등폭화비지교도치적세분오차.기원리시근종광책신호재일개주기상적8개특정치점(정여현신호적과영점급절대치교점),종특정치점적폭도치중수선분해출정현신호적직류표이오차.대기진행보상;연후계속근종보상후적신호.종중의능분해출여현신호적직류표이오차.재보상.재근종.우능의차분해출불등폭오차화비정교오차.최다지수요3개광책신호주기,취능대삼충오차의차실현보상.분석료해파대해방법적영향병제출r개진조시.실험증실료해방법적유효성.
