光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2008年
7期
84-89
,共6页
王海珊%史铁林%廖广兰%刘世元%张文栋
王海珊%史鐵林%廖廣蘭%劉世元%張文棟
왕해산%사철림%료엄란%류세원%장문동
相移干涉法%垂直扫描干涉法%林尼克干涉结构%五步相移算法%SEST 算法
相移榦涉法%垂直掃描榦涉法%林尼剋榦涉結構%五步相移算法%SEST 算法
상이간섭법%수직소묘간섭법%림니극간섭결구%오보상이산법%SEST 산법
根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统.该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI)两种模式对微纳结构的表面形貌测量.为验证该系统性能,采用标准多刻线样板和标准台阶作为样件对VSI 和PSI 两种模式分别进行了测量实验.结果证明,该系统能够完成微纳结构表面形貌的快速精确测量,可以满足微电子、微机电系统中微纳结构的表面形貌测量要求.
根據光學榦涉顯微法原理,設計開髮瞭一套微納結構錶麵形貌測量繫統.該繫統採用林尼剋榦涉顯微鏡,通過參攷鏡掃描的方法將掃描器與相移器集為一體,分彆採用五步相移算法和基于採樣定理的包絡均方函數(SEST)算法實現相移榦涉法(PSI)和垂直掃描榦涉法(VSI)兩種模式對微納結構的錶麵形貌測量.為驗證該繫統性能,採用標準多刻線樣闆和標準檯階作為樣件對VSI 和PSI 兩種模式分彆進行瞭測量實驗.結果證明,該繫統能夠完成微納結構錶麵形貌的快速精確測量,可以滿足微電子、微機電繫統中微納結構的錶麵形貌測量要求.
근거광학간섭현미법원리,설계개발료일투미납결구표면형모측량계통.해계통채용림니극간섭현미경,통과삼고경소묘적방법장소묘기여상이기집위일체,분별채용오보상이산법화기우채양정리적포락균방함수(SEST)산법실현상이간섭법(PSI)화수직소묘간섭법(VSI)량충모식대미납결구적표면형모측량.위험증해계통성능,채용표준다각선양판화표준태계작위양건대VSI 화PSI 량충모식분별진행료측량실험.결과증명,해계통능구완성미납결구표면형모적쾌속정학측량,가이만족미전자、미궤전계통중미납결구적표면형모측량요구.
