光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2009年
9期
2212-2217
,共6页
压电陶瓷管%涡流位移传感器%位移测量%非线性校正%虚拟仪器
壓電陶瓷管%渦流位移傳感器%位移測量%非線性校正%虛擬儀器
압전도자관%와류위이전감기%위이측량%비선성교정%허의의기
为了对原子力显微镜(AFM)中压电陶瓷管扫描位移进行非线性校正,提出了一种微位移测量与校正的简易方法.采用涡流位移传感器测量微位移,将其放大100倍以提高检测灵敏度;得到了压电陶瓷管的位移-电压曲线,其最高位移分辨率计算值为0.4 nm.根据AFM中压电陶瓷管的工作特点,确定扫描范围下测量得到的位移-电压关系,通过对等间隔像素点施加对应的非等间隔控制电压序列的方法进行非线性校正,依据像素点精度要求通过插值算法获得控制电压序列.系统采用LabVIEW虚拟仪器技术,校正后压电陶瓷管最大位移滞回偏差从10.1%降为0.4%.实验表明:扫描频率和扫描像素分辨率调节方便,同时校正算法复杂度也有所降低.
為瞭對原子力顯微鏡(AFM)中壓電陶瓷管掃描位移進行非線性校正,提齣瞭一種微位移測量與校正的簡易方法.採用渦流位移傳感器測量微位移,將其放大100倍以提高檢測靈敏度;得到瞭壓電陶瓷管的位移-電壓麯線,其最高位移分辨率計算值為0.4 nm.根據AFM中壓電陶瓷管的工作特點,確定掃描範圍下測量得到的位移-電壓關繫,通過對等間隔像素點施加對應的非等間隔控製電壓序列的方法進行非線性校正,依據像素點精度要求通過插值算法穫得控製電壓序列.繫統採用LabVIEW虛擬儀器技術,校正後壓電陶瓷管最大位移滯迴偏差從10.1%降為0.4%.實驗錶明:掃描頻率和掃描像素分辨率調節方便,同時校正算法複雜度也有所降低.
위료대원자력현미경(AFM)중압전도자관소묘위이진행비선성교정,제출료일충미위이측량여교정적간역방법.채용와류위이전감기측량미위이,장기방대100배이제고검측령민도;득도료압전도자관적위이-전압곡선,기최고위이분변솔계산치위0.4 nm.근거AFM중압전도자관적공작특점,학정소묘범위하측량득도적위이-전압관계,통과대등간격상소점시가대응적비등간격공제전압서렬적방법진행비선성교정,의거상소점정도요구통과삽치산법획득공제전압서렬.계통채용LabVIEW허의의기기술,교정후압전도자관최대위이체회편차종10.1%강위0.4%.실험표명:소묘빈솔화소묘상소분변솔조절방편,동시교정산법복잡도야유소강저.
