人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2007年
6期
1343-1346
,共4页
秦伟%吴文彪%朱伟诚%程晋荣%孟中岩
秦偉%吳文彪%硃偉誠%程晉榮%孟中巖
진위%오문표%주위성%정진영%맹중암
BSCT薄膜%溶胶-凝胶法%介电调谐%漏电流
BSCT薄膜%溶膠-凝膠法%介電調諧%漏電流
BSCT박막%용효-응효법%개전조해%루전류
本文采用溶胶-凝胶法在Pt(111)/TiO2/SiO2/Si衬底上制备了(Ba0.6Sr0.4)1-xCaxTiO3(BSCT)(x=0,0.1,0.2,0.3,0.4)薄膜.XRD及SEM结果表明表明,薄膜结晶良好,形成单一的钙钛矿结构,没有明显的裂缝.薄膜厚度大约为500nm.从介电常数和直流偏压电场的关系曲线上并没有滞后现象,这说明BSCT薄膜处于顺电相.随着x的增加,薄膜的介电常数、介电损耗和调谐率都有所下降,而优值有所提高.J-V特性表明Ca的加入显著降低了薄膜的漏电流.
本文採用溶膠-凝膠法在Pt(111)/TiO2/SiO2/Si襯底上製備瞭(Ba0.6Sr0.4)1-xCaxTiO3(BSCT)(x=0,0.1,0.2,0.3,0.4)薄膜.XRD及SEM結果錶明錶明,薄膜結晶良好,形成單一的鈣鈦礦結構,沒有明顯的裂縫.薄膜厚度大約為500nm.從介電常數和直流偏壓電場的關繫麯線上併沒有滯後現象,這說明BSCT薄膜處于順電相.隨著x的增加,薄膜的介電常數、介電損耗和調諧率都有所下降,而優值有所提高.J-V特性錶明Ca的加入顯著降低瞭薄膜的漏電流.
본문채용용효-응효법재Pt(111)/TiO2/SiO2/Si츤저상제비료(Ba0.6Sr0.4)1-xCaxTiO3(BSCT)(x=0,0.1,0.2,0.3,0.4)박막.XRD급SEM결과표명표명,박막결정량호,형성단일적개태광결구,몰유명현적렬봉.박막후도대약위500nm.종개전상수화직류편압전장적관계곡선상병몰유체후현상,저설명BSCT박막처우순전상.수착x적증가,박막적개전상수、개전손모화조해솔도유소하강,이우치유소제고.J-V특성표명Ca적가입현저강저료박막적루전류.
