核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2008年
2期
111-114
,共4页
马胜歌%于大洋%杨宏伟%张以忱
馬勝歌%于大洋%楊宏偉%張以忱
마성가%우대양%양굉위%장이침
类金刚石膜%多层膜%非平衡磁控溅射%电弧离子镀%V射线光电子能谱仪
類金剛石膜%多層膜%非平衡磁控濺射%電弧離子鍍%V射線光電子能譜儀
류금강석막%다층막%비평형자공천사%전호리자도%V사선광전자능보의
结合中频孪生靶非平衡磁控溅射、电弧离子镀和霍尔离子源辅助沉积三种工艺,制备了Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC硬质膜.硬质膜呈深黑色,表面比较光滑,顶层为掺N的类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)膜,中间层为含C的TiNC,底层为含Ti和Cr的TiNC,力学性能良好.
結閤中頻孿生靶非平衡磁控濺射、電弧離子鍍和霍爾離子源輔助沉積三種工藝,製備瞭Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC硬質膜.硬質膜呈深黑色,錶麵比較光滑,頂層為摻N的類金剛石(Diamond-like Carbon,DLC)膜,中間層為含C的TiNC,底層為含Ti和Cr的TiNC,力學性能良好.
결합중빈련생파비평형자공천사、전호리자도화곽이리자원보조침적삼충공예,제비료Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC경질막.경질막정심흑색,표면비교광활,정층위참N적류금강석(Diamond-like Carbon,DLC)막,중간층위함C적TiNC,저층위함Ti화Cr적TiNC,역학성능량호.
