深圳大学学报（理工版）
深圳大學學報（理工版）
심수대학학보（리공판）
JOURNAL OF SHENZHEN UNIVERSITY (SCIENCE & ENGINEERING)
2007年
4期
410-413
,共4页
宫永辉%毛延发%唐卫国%刘金良%冯博学%韩培刚
宮永輝%毛延髮%唐衛國%劉金良%馮博學%韓培剛
궁영휘%모연발%당위국%류금량%풍박학%한배강
脉冲偏压%TiAlN/TiN膜%生长过程%熔滴%多弧离子镀
脈遲偏壓%TiAlN/TiN膜%生長過程%鎔滴%多弧離子鍍
맥충편압%TiAlN/TiN막%생장과정%용적%다호리자도
针对直流脉冲负偏压对PVD涂层形成过程和熔滴造成很大影响的问题,通过施加脉冲偏压有利于实现低温沉积.研究发现,沉积速率随直流脉冲负偏压峰值的提高先升高后降低,在-300 V偏压时沉积速率最大;熔滴密度和直径随脉冲负偏压峰值的提高递减;随偏压升高,加大了元素溅射产额的差异,使涂层中铝元素和钛元素的含量发生变化.
針對直流脈遲負偏壓對PVD塗層形成過程和鎔滴造成很大影響的問題,通過施加脈遲偏壓有利于實現低溫沉積.研究髮現,沉積速率隨直流脈遲負偏壓峰值的提高先升高後降低,在-300 V偏壓時沉積速率最大;鎔滴密度和直徑隨脈遲負偏壓峰值的提高遞減;隨偏壓升高,加大瞭元素濺射產額的差異,使塗層中鋁元素和鈦元素的含量髮生變化.
침대직류맥충부편압대PVD도층형성과정화용적조성흔대영향적문제,통과시가맥충편압유리우실현저온침적.연구발현,침적속솔수직류맥충부편압봉치적제고선승고후강저,재-300 V편압시침적속솔최대;용적밀도화직경수맥충부편압봉치적제고체감;수편압승고,가대료원소천사산액적차이,사도층중려원소화태원소적함량발생변화.
