微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2007年
7期
260-262
,共3页
严庆文%魏益群%李业隆%沈美娥%朱嘉林
嚴慶文%魏益群%李業隆%瀋美娥%硃嘉林
엄경문%위익군%리업륭%침미아%주가림
声表面波%陀螺效应%角速力传感器
聲錶麵波%陀螺效應%角速力傳感器
성표면파%타라효응%각속력전감기
以声表面波中的陀螺效应为理论基础,通过数值计算获得了LiNbO3基底上声表面波波速随基底转动速率的变化,以此为依据设计了一种双通道声表面波转速敏感结构,制作出双通道声表面波转速传感器.通过实验,该传感器的分辨率为12 Hz/r·s-1.
以聲錶麵波中的陀螺效應為理論基礎,通過數值計算穫得瞭LiNbO3基底上聲錶麵波波速隨基底轉動速率的變化,以此為依據設計瞭一種雙通道聲錶麵波轉速敏感結構,製作齣雙通道聲錶麵波轉速傳感器.通過實驗,該傳感器的分辨率為12 Hz/r·s-1.
이성표면파중적타라효응위이론기출,통과수치계산획득료LiNbO3기저상성표면파파속수기저전동속솔적변화,이차위의거설계료일충쌍통도성표면파전속민감결구,제작출쌍통도성표면파전속전감기.통과실험,해전감기적분변솔위12 Hz/r·s-1.
