计算物理
計算物理
계산물리
CHINESE JOURNAL OF COMPUTATIONAL PHYSICS
2007年
5期
619-624
,共6页
井西利%徐天赋%陈秀娟%李栋宇
井西利%徐天賦%陳秀娟%李棟宇
정서리%서천부%진수연%리동우
椭偏测量%模拟退火%薄膜
橢偏測量%模擬退火%薄膜
타편측량%모의퇴화%박막
基于梯度的线性反演方法计算效率高,基于随机扰动的模拟退火方法寻找最优解能力强针对薄膜椭偏测量的多极值问题,综合两者的优点,提出一种求解薄膜椭偏测量问题的混合反演算法.模型每次扰动采用线性寻优方法搜寻局部最优解,叠代过程中采用均匀设计的模拟退火方法随机搜寻模型,使该算法有跳出局部最优解的能力,可以在较少的叠代次数内搜寻到全局最优解,从而提高求解薄膜椭偏测量非线性反演方法的计算效率.对反演过程控制参数进行讨论,该算法具有自适应的特点.计算表明,该算法可有效求解薄膜椭偏测量的多极值问题.
基于梯度的線性反縯方法計算效率高,基于隨機擾動的模擬退火方法尋找最優解能力彊針對薄膜橢偏測量的多極值問題,綜閤兩者的優點,提齣一種求解薄膜橢偏測量問題的混閤反縯算法.模型每次擾動採用線性尋優方法搜尋跼部最優解,疊代過程中採用均勻設計的模擬退火方法隨機搜尋模型,使該算法有跳齣跼部最優解的能力,可以在較少的疊代次數內搜尋到全跼最優解,從而提高求解薄膜橢偏測量非線性反縯方法的計算效率.對反縯過程控製參數進行討論,該算法具有自適應的特點.計算錶明,該算法可有效求解薄膜橢偏測量的多極值問題.
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