LiAlO2衬底上ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备和表征
LiAlO2츤저상ZnO박막적용효-응효법제비화표정
Characterization of ZnO Thin Films Synthesized on LiAlO2 Substrates by Sol-gel Method
  • 万方数据
    人工晶体学报 인공정체학보

    2007年 4期 869-873 ,共5页

    林辉%宋涛%周健华%黄涛华%夏国栋%邹军%董亚明%王军%周圣明

    림휘%송도%주건화%황도화%하국동%추군%동아명%왕군%주골명

    溶胶-凝胶法%LiAlO2%ZnO%XRD%SEM 溶膠-凝膠法%LiAlO2%ZnO%XRD%SEM
    용효-응효법%LiAlO2%ZnO%XRD%SEM
    采用溶胶凝胶法在LiAlO2(302)衬底上制备了ZnO薄膜.用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)对样品的结构和形貌进行了表征.XRD结果表明,随着热处理温度的升高(350℃、450℃、550℃、600℃、800℃),所得到的薄膜分别为单相ZnAl2O4(350℃),ZnAl2O4和ZnO的混合相(450℃)以及单相的ZnO(550℃、600℃、800℃),并且ZnO薄膜c轴择优取向的生长趋势随温度升高相应明显.SEM图像显示,随着热处理温度的升高,ZnO薄膜的粒径相应变大.
    채용용효응효법재LiAlO2(302)츤저상제비료ZnO박막.용X사선연사(XRD)화소묘전경(SEM)대양품적결구화형모진행료표정.XRD결과표명,수착열처리온도적승고(350℃、450℃、550℃、600℃、800℃),소득도적박막분별위단상ZnAl2O4(350℃),ZnAl2O4화ZnO적혼합상(450℃)이급단상적ZnO(550℃、600℃、800℃),병차ZnO박막c축택우취향적생장추세수온도승고상응명현.SEM도상현시,수착열처리온도적승고,ZnO박막적립경상응변대.
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