半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2007年
9期
750-752
,共3页
光刻区%派工法则%系统仿真%晶圆制造
光刻區%派工法則%繫統倣真%晶圓製造
광각구%파공법칙%계통방진%정원제조
对光刻区的派工法则进行了分析研究.在传统的先来先服务规则的基础上,根据光刻区的生产特性及实际情况,以最小化完工时间为目标,主要考虑到减少设备的调整时间,提出一种启发式综合派工法则.对某晶圆制造厂的一组光刻设备进行实例研究,运用Extend仿真软件对传统先来先服务规则和启发式综合派工法则分别建立仿真模型,通过仿真得出主要生产性能参数.结果表明,启发式综合派工法则明显优于现有的先来先服务规则.
對光刻區的派工法則進行瞭分析研究.在傳統的先來先服務規則的基礎上,根據光刻區的生產特性及實際情況,以最小化完工時間為目標,主要攷慮到減少設備的調整時間,提齣一種啟髮式綜閤派工法則.對某晶圓製造廠的一組光刻設備進行實例研究,運用Extend倣真軟件對傳統先來先服務規則和啟髮式綜閤派工法則分彆建立倣真模型,通過倣真得齣主要生產性能參數.結果錶明,啟髮式綜閤派工法則明顯優于現有的先來先服務規則.
대광각구적파공법칙진행료분석연구.재전통적선래선복무규칙적기출상,근거광각구적생산특성급실제정황,이최소화완공시간위목표,주요고필도감소설비적조정시간,제출일충계발식종합파공법칙.대모정원제조엄적일조광각설비진행실례연구,운용Extend방진연건대전통선래선복무규칙화계발식종합파공법칙분별건립방진모형,통과방진득출주요생산성능삼수.결과표명,계발식종합파공법칙명현우우현유적선래선복무규칙.
