传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2008年
5期
58-60,63
,共4页
微流体温度控制器%传热效率%数值模拟
微流體溫度控製器%傳熱效率%數值模擬
미류체온도공제기%전열효솔%수치모의
为了满足微电子封装过程对器件温度变化的精确控制,提出一种快速升降温的微型流体温度控制器,并采用流体力学软件FLUENT对温度控制器的液体-固体-空气-体化的流动-热传导过程进行数值模拟.在给定进口液体温度变化特征的情况下,通过数值分析考察控制器表面温度对进口液体温度变化的响应特性,包括时间跟随性(传热灵敏度)和温度变化振幅的衰减率(传热效率).考察了控制器结构尺度、进口液体速度、温度变化波形、周期等参数对温度控制器的特性影响.结果表明:控制器厚度增加,控制器表面温度变化幅值衰减增大;控制器进口流速大,控制器表面温度变化幅值衰减率小;进口液体温度变化周期短,传感器表面温度变化幅值衰减增大;进口温度变化方形波的传热效率大于三角波形;传感器表面温度变化周期与进口温度周期相同,但存在相位差.
為瞭滿足微電子封裝過程對器件溫度變化的精確控製,提齣一種快速升降溫的微型流體溫度控製器,併採用流體力學軟件FLUENT對溫度控製器的液體-固體-空氣-體化的流動-熱傳導過程進行數值模擬.在給定進口液體溫度變化特徵的情況下,通過數值分析攷察控製器錶麵溫度對進口液體溫度變化的響應特性,包括時間跟隨性(傳熱靈敏度)和溫度變化振幅的衰減率(傳熱效率).攷察瞭控製器結構呎度、進口液體速度、溫度變化波形、週期等參數對溫度控製器的特性影響.結果錶明:控製器厚度增加,控製器錶麵溫度變化幅值衰減增大;控製器進口流速大,控製器錶麵溫度變化幅值衰減率小;進口液體溫度變化週期短,傳感器錶麵溫度變化幅值衰減增大;進口溫度變化方形波的傳熱效率大于三角波形;傳感器錶麵溫度變化週期與進口溫度週期相同,但存在相位差.
위료만족미전자봉장과정대기건온도변화적정학공제,제출일충쾌속승강온적미형류체온도공제기,병채용류체역학연건FLUENT대온도공제기적액체-고체-공기-체화적류동-열전도과정진행수치모의.재급정진구액체온도변화특정적정황하,통과수치분석고찰공제기표면온도대진구액체온도변화적향응특성,포괄시간근수성(전열령민도)화온도변화진폭적쇠감솔(전열효솔).고찰료공제기결구척도、진구액체속도、온도변화파형、주기등삼수대온도공제기적특성영향.결과표명:공제기후도증가,공제기표면온도변화폭치쇠감증대;공제기진구류속대,공제기표면온도변화폭치쇠감솔소;진구액체온도변화주기단,전감기표면온도변화폭치쇠감증대;진구온도변화방형파적전열효솔대우삼각파형;전감기표면온도변화주기여진구온도주기상동,단존재상위차.
