CAJ | 학술논문

研究了用于扫描探针显微镜,特别是原子力显微镜(AFM)中的扫描器高精度定位问题.压电陶瓷驱动器通常用于这种扫描器中,在无补偿的开环控制期间,它在输入电压和输出位移之间表现出明显的迟滞和蠕变.迟滞和蠕变降低了扫描器的定位精度并使扫描图像出现了畸变.给出了迟滞和蠕变模型及参数的在线辨识方法.在AFM的扫描控制中,使用基于该模型的逆控制算法补偿了压电陶瓷的迟滞和蠕变.在分析中,Preisach迟滞模型和对数蠕变模型被用于描述压电陶瓷驱动器的非线性.由于该方法不需要在控制过程中进行参数设置,因此很容易使用.此外由于是开环控制方法,可以具有更好的分辨率.闭环操作能够给出较好的迟滞和蠕变补偿,但由于在高带宽情况下传感器动态范围的限制,对于小扫描区域或样本特征,它减小了成像的分辨率.三角波轨迹跟踪的仿真结果说明轨迹误差在传感器噪声量级上,证明了这个方法的有效性.
연구료용우소묘탐침현미경,특별시원자력현미경(AFM)중적소묘기고정도정위문제.압전도자구동기통상용우저충소묘기중,재무보상적개배공제기간,타재수입전압화수출위이지간표현출명현적지체화연변.지체화연변강저료소묘기적정위정도병사소묘도상출현료기변.급출료지체화연변모형급삼수적재선변식방법.재AFM적소묘공제중,사용기우해모형적역공제산법보상료압전도자적지체화연변.재분석중,Preisach지체모형화대수연변모형피용우묘술압전도자구동기적비선성.유우해방법불수요재공제과정중진행삼수설치,인차흔용역사용.차외유우시개배공제방법,가이구유경호적분변솔.폐배조작능구급출교호적지체화연변보상,단유우재고대관정황하전감기동태범위적한제,대우소소묘구역혹양본특정,타감소료성상적분변솔.삼각파궤적근종적방진결과설명궤적오차재전감기조성량급상,증명료저개방법적유효성.