光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2006年
7期
1112-1114
,共3页
苏宏波%戴江南%王立%蒲勇%方文卿%江风益
囌宏波%戴江南%王立%蒲勇%方文卿%江風益
소굉파%대강남%왕립%포용%방문경%강풍익
薄膜光学%双电子卫星峰%光致发光%常压有机金属化学气相沉积%ZnO%N2O
薄膜光學%雙電子衛星峰%光緻髮光%常壓有機金屬化學氣相沉積%ZnO%N2O
박막광학%쌍전자위성봉%광치발광%상압유궤금속화학기상침적%ZnO%N2O
采用常压金属有机化学气相沉积(AP-MOCVD)技术、三步生长法,分别以H2O和N2O为氧源,DEZn为Zn源,N2作载气,在c-Al2O3衬底上生长出了晶体质量较好的ZnO薄膜.用X射线双晶衍射(DCXRD)和光致发光谱对ZnO薄膜的结晶性能和光学性质进行表征.结果显示,ZnO倾斜对称面(10-12)的ω扫描半峰全宽为350",表明ZnO薄膜结晶性能良好;低温10 K光致发光谱结果表明,N2O为氧源生长的ZnO膜和H2O为氧源生长的ZnO膜的发光特性明显不同,没有观察到与氢有关的中性施主束缚激子对应的3.331 eV双电子卫星峰(TES).这一结果表明,用N2O为氧源生长的ZnO薄膜中不易引进氢杂质.
採用常壓金屬有機化學氣相沉積(AP-MOCVD)技術、三步生長法,分彆以H2O和N2O為氧源,DEZn為Zn源,N2作載氣,在c-Al2O3襯底上生長齣瞭晶體質量較好的ZnO薄膜.用X射線雙晶衍射(DCXRD)和光緻髮光譜對ZnO薄膜的結晶性能和光學性質進行錶徵.結果顯示,ZnO傾斜對稱麵(10-12)的ω掃描半峰全寬為350",錶明ZnO薄膜結晶性能良好;低溫10 K光緻髮光譜結果錶明,N2O為氧源生長的ZnO膜和H2O為氧源生長的ZnO膜的髮光特性明顯不同,沒有觀察到與氫有關的中性施主束縳激子對應的3.331 eV雙電子衛星峰(TES).這一結果錶明,用N2O為氧源生長的ZnO薄膜中不易引進氫雜質.
채용상압금속유궤화학기상침적(AP-MOCVD)기술、삼보생장법,분별이H2O화N2O위양원,DEZn위Zn원,N2작재기,재c-Al2O3츤저상생장출료정체질량교호적ZnO박막.용X사선쌍정연사(DCXRD)화광치발광보대ZnO박막적결정성능화광학성질진행표정.결과현시,ZnO경사대칭면(10-12)적ω소묘반봉전관위350",표명ZnO박막결정성능량호;저온10 K광치발광보결과표명,N2O위양원생장적ZnO막화H2O위양원생장적ZnO막적발광특성명현불동,몰유관찰도여경유관적중성시주속박격자대응적3.331 eV쌍전자위성봉(TES).저일결과표명,용N2O위양원생장적ZnO박막중불역인진경잡질.
