材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2006年
1期
101-103,108
,共4页
冯明海%方亮%刘高斌%侯爱国%张勇%王万录
馮明海%方亮%劉高斌%侯愛國%張勇%王萬錄
풍명해%방량%류고빈%후애국%장용%왕만록
金刚石%微细加工%刻蚀%等离子体
金剛石%微細加工%刻蝕%等離子體
금강석%미세가공%각식%등리자체
金刚石因其卓越的物理和化学性能一直蕴涵着巨大的应用潜力,但其极高的硬度和优异的化学稳定性使其难以被加工成型,因此,在作为新型电子功能材料走向实际应用过程中,金刚石的微细加工技术非常关键.对近年来国内外采用等离子体刻蚀技术加工金刚石的基本工艺特点和最新进展进行了较系统的比较和总结,重点分析了功率、气体种类、气体流量、偏压、掺杂类型、离子注入、掩膜等因素对刻蚀过程的影响,以期为工艺参数的进一步优化提供参考.
金剛石因其卓越的物理和化學性能一直蘊涵著巨大的應用潛力,但其極高的硬度和優異的化學穩定性使其難以被加工成型,因此,在作為新型電子功能材料走嚮實際應用過程中,金剛石的微細加工技術非常關鍵.對近年來國內外採用等離子體刻蝕技術加工金剛石的基本工藝特點和最新進展進行瞭較繫統的比較和總結,重點分析瞭功率、氣體種類、氣體流量、偏壓、摻雜類型、離子註入、掩膜等因素對刻蝕過程的影響,以期為工藝參數的進一步優化提供參攷.
금강석인기탁월적물리화화학성능일직온함착거대적응용잠력,단기겁고적경도화우이적화학은정성사기난이피가공성형,인차,재작위신형전자공능재료주향실제응용과정중,금강석적미세가공기술비상관건.대근년래국내외채용등리자체각식기술가공금강석적기본공예특점화최신진전진행료교계통적비교화총결,중점분석료공솔、기체충류、기체류량、편압、참잡류형、리자주입、엄막등인소대각식과정적영향,이기위공예삼수적진일보우화제공삼고.
