传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
1期
78-80,86
,共4页
丁占来%王建强%安寸然%任德亮%侯哲哲
丁佔來%王建彊%安吋然%任德亮%侯哲哲
정점래%왕건강%안촌연%임덕량%후철철
气体传感器%二氧化锡%纳米颗粒%敏感性
氣體傳感器%二氧化錫%納米顆粒%敏感性
기체전감기%이양화석%납미과립%민감성
在适当的条件下分解有机金属前驱体[Sn(N(CH3)2)2]2制备了尺寸分布集中的SnO2纳米颗粒.二氧化锡纳米颗粒胶体沉积到气体传感器的硅基础结构上形成纳米颗粒多孔薄膜传感层,并对传感层进行金属Pt元素原位掺杂.在专用实验台上测定了SnO2纳米颗粒传感器对CO 气体的敏感性,结果显示此传感器对CO气体表现出较好的敏感性和稳定性.
在適噹的條件下分解有機金屬前驅體[Sn(N(CH3)2)2]2製備瞭呎吋分佈集中的SnO2納米顆粒.二氧化錫納米顆粒膠體沉積到氣體傳感器的硅基礎結構上形成納米顆粒多孔薄膜傳感層,併對傳感層進行金屬Pt元素原位摻雜.在專用實驗檯上測定瞭SnO2納米顆粒傳感器對CO 氣體的敏感性,結果顯示此傳感器對CO氣體錶現齣較好的敏感性和穩定性.
재괄당적조건하분해유궤금속전구체[Sn(N(CH3)2)2]2제비료척촌분포집중적SnO2납미과립.이양화석납미과립효체침적도기체전감기적규기출결구상형성납미과립다공박막전감층,병대전감층진행금속Pt원소원위참잡.재전용실험태상측정료SnO2납미과립전감기대CO 기체적민감성,결과현시차전감기대CO기체표현출교호적민감성화은정성.
