航空兵器
航空兵器
항공병기
HANGKONG BINGQI
2006年
1期
32-34
,共3页
MSM%退火%肖特基接触%I-V特性
MSM%退火%肖特基接觸%I-V特性
MSM%퇴화%초특기접촉%I-V특성
在以MOCVD生长的未掺杂的n-Al0.3Ga0.7N上用Au制成了MSM结构的紫外光伏二极管.在N2氛围下以不同温度对器件进行了退火实验,退火时间为10 min. 室温I-V曲线表明,500 ℃退火能有效地减小器件的暗电流, 但是暗电流随反偏电压的增加上升很快, 700 ℃退火后器件的紫外光响应的光电流随反偏电压的增加也上升很快, 这是镜象力和隧道效应影响使势垒高度ΦB随反偏电压的增加而略微下降造成.适当的退火温度能减少器件暗电流是因为降低了Al0.3Ga0.7N表面和体内的陷阱和位错密度.
在以MOCVD生長的未摻雜的n-Al0.3Ga0.7N上用Au製成瞭MSM結構的紫外光伏二極管.在N2氛圍下以不同溫度對器件進行瞭退火實驗,退火時間為10 min. 室溫I-V麯線錶明,500 ℃退火能有效地減小器件的暗電流, 但是暗電流隨反偏電壓的增加上升很快, 700 ℃退火後器件的紫外光響應的光電流隨反偏電壓的增加也上升很快, 這是鏡象力和隧道效應影響使勢壘高度ΦB隨反偏電壓的增加而略微下降造成.適噹的退火溫度能減少器件暗電流是因為降低瞭Al0.3Ga0.7N錶麵和體內的陷阱和位錯密度.
재이MOCVD생장적미참잡적n-Al0.3Ga0.7N상용Au제성료MSM결구적자외광복이겁관.재N2분위하이불동온도대기건진행료퇴화실험,퇴화시간위10 min. 실온I-V곡선표명,500 ℃퇴화능유효지감소기건적암전류, 단시암전류수반편전압적증가상승흔쾌, 700 ℃퇴화후기건적자외광향응적광전류수반편전압적증가야상승흔쾌, 저시경상력화수도효응영향사세루고도ΦB수반편전압적증가이략미하강조성.괄당적퇴화온도능감소기건암전류시인위강저료Al0.3Ga0.7N표면화체내적함정화위착밀도.
