功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2010年
10期
1691-1693
,共3页
李秋俊%冯世娟%刘毅%赵红%赵文伯
李鞦俊%馮世娟%劉毅%趙紅%趙文伯
리추준%풍세연%류의%조홍%조문백
AlGaN薄膜%椭圆偏振光谱%光学常数%Al组分
AlGaN薄膜%橢圓偏振光譜%光學常數%Al組分
AlGaN박막%타원편진광보%광학상수%Al조분
对蓝宝石衬底上生长的一系列AlxGa1-xN薄膜进行了椭圆偏振光谱研究,得到了薄膜的厚度以及245～1000nm的光学常数;通过有效介质模型计算出Al组分;随着Al组分的增加,折射率n下降,吸收边蓝移,与透射光谱结果一致.
對藍寶石襯底上生長的一繫列AlxGa1-xN薄膜進行瞭橢圓偏振光譜研究,得到瞭薄膜的厚度以及245～1000nm的光學常數;通過有效介質模型計算齣Al組分;隨著Al組分的增加,摺射率n下降,吸收邊藍移,與透射光譜結果一緻.
대람보석츤저상생장적일계렬AlxGa1-xN박막진행료타원편진광보연구,득도료박막적후도이급245～1000nm적광학상수;통과유효개질모형계산출Al조분;수착Al조분적증가,절사솔n하강,흡수변람이,여투사광보결과일치.
