材料科学与工程学报
材料科學與工程學報
재료과학여공정학보
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2005年
4期
534-536
,共3页
梁爱民%徐洮%王立平%林义民%孙蓉
樑愛民%徐洮%王立平%林義民%孫蓉
량애민%서조%왕립평%림의민%손용
TiN薄膜%离子束辅助沉积%结合强度%纳米硬度%摩擦学性能
TiN薄膜%離子束輔助沉積%結閤彊度%納米硬度%摩抆學性能
TiN박막%리자속보조침적%결합강도%납미경도%마찰학성능
采用低能离子束辅助沉积技术在Si片上制备了TiN纳米薄膜.考察了离子束流密度和基底温度对薄膜性能的影响.研究表明:随着离子束流密度的增大,TiN薄膜的纳米硬度上升,膜基结合力变化不大,薄膜的耐磨性获得了很大改善;制膜时的基底温度升高,薄膜的硬度也会上升,但膜基结合力下降,摩擦系数增大,薄膜的耐磨性下降.
採用低能離子束輔助沉積技術在Si片上製備瞭TiN納米薄膜.攷察瞭離子束流密度和基底溫度對薄膜性能的影響.研究錶明:隨著離子束流密度的增大,TiN薄膜的納米硬度上升,膜基結閤力變化不大,薄膜的耐磨性穫得瞭很大改善;製膜時的基底溫度升高,薄膜的硬度也會上升,但膜基結閤力下降,摩抆繫數增大,薄膜的耐磨性下降.
채용저능리자속보조침적기술재Si편상제비료TiN납미박막.고찰료리자속류밀도화기저온도대박막성능적영향.연구표명:수착리자속류밀도적증대,TiN박막적납미경도상승,막기결합력변화불대,박막적내마성획득료흔대개선;제막시적기저온도승고,박막적경도야회상승,단막기결합력하강,마찰계수증대,박막적내마성하강.
