浙江理工大学学报
浙江理工大學學報
절강리공대학학보
JOURNAL OF ZHEJIANG SCI-TECH UNIVERSITY
2011年
2期
217-220,229
,共5页
赵思维%严利平%杨涛%周砚江%陈本永
趙思維%嚴利平%楊濤%週硯江%陳本永
조사유%엄리평%양도%주연강%진본영
纳米测量%激光外差干涉%信号处理%DSP%捕捉单元
納米測量%激光外差榦涉%信號處理%DSP%捕捉單元
납미측량%격광외차간섭%신호처리%DSP%포착단원
描述激光外差干涉测量的原理,设计基于DSP的激光外差干涉信号处理方法,用DSP的捕捉单元获取参考信号和测量信号的上升沿时间差,在捕捉单元中断中计算测量信号周期,由DSP将时间差转化为相位差并得出被测位移.采用信号发生器模拟两路输入信号,在0～360°范围内进行相位差测量实验,测量结果表明标准偏差为0.041°、线性拟合相关系数为0.999 89.以20 nm为步长在0～320 nm范围内进行位移测量实验,实验结果表明标准偏差为2.46 nm、线性拟合相关系数为0.999 71,验证了所设计的信号处理方法的可行性和实用性.
描述激光外差榦涉測量的原理,設計基于DSP的激光外差榦涉信號處理方法,用DSP的捕捉單元穫取參攷信號和測量信號的上升沿時間差,在捕捉單元中斷中計算測量信號週期,由DSP將時間差轉化為相位差併得齣被測位移.採用信號髮生器模擬兩路輸入信號,在0～360°範圍內進行相位差測量實驗,測量結果錶明標準偏差為0.041°、線性擬閤相關繫數為0.999 89.以20 nm為步長在0～320 nm範圍內進行位移測量實驗,實驗結果錶明標準偏差為2.46 nm、線性擬閤相關繫數為0.999 71,驗證瞭所設計的信號處理方法的可行性和實用性.
묘술격광외차간섭측량적원리,설계기우DSP적격광외차간섭신호처리방법,용DSP적포착단원획취삼고신호화측량신호적상승연시간차,재포착단원중단중계산측량신호주기,유DSP장시간차전화위상위차병득출피측위이.채용신호발생기모의량로수입신호,재0～360°범위내진행상위차측량실험,측량결과표명표준편차위0.041°、선성의합상관계수위0.999 89.이20 nm위보장재0～320 nm범위내진행위이측량실험,실험결과표명표준편차위2.46 nm、선성의합상관계수위0.999 71,험증료소설계적신호처리방법적가행성화실용성.
