物探装备
物探裝備
물탐장비
EQUIPMENT FOR GEOPHYSICAL PROSPECTING
2005年
1期
1-5
,共5页
MEMS传感器%差动电容%介质材料
MEMS傳感器%差動電容%介質材料
MEMS전감기%차동전용%개질재료
用于信号采集的传感器在石油勘探中是一个很重要的设备.本文主要介绍了一种新的石油勘探MEMS传感器的结构特点、介质材料以封装方式,并详细地介绍了该产品的主要技术指标.
用于信號採集的傳感器在石油勘探中是一箇很重要的設備.本文主要介紹瞭一種新的石油勘探MEMS傳感器的結構特點、介質材料以封裝方式,併詳細地介紹瞭該產品的主要技術指標.
용우신호채집적전감기재석유감탐중시일개흔중요적설비.본문주요개소료일충신적석유감탐MEMS전감기적결구특점、개질재료이봉장방식,병상세지개소료해산품적주요기술지표.
