压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2001年
4期
290-292
,共3页
赵宏锦%刘建设%任天令%刘燕翔%刘理天%李志坚
趙宏錦%劉建設%任天令%劉燕翔%劉理天%李誌堅
조굉금%류건설%임천령%류연상%류리천%리지견
锫钛酸铅%溶胶-凝胶%刻蚀
锫鈦痠鉛%溶膠-凝膠%刻蝕
부태산연%용효-응효%각식
采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了PZT薄膜,在600°C的退火温度下即获得了晶化完善的钙钛矿铁电相结构.采用典型的半导体光刻工艺,利用HCl/HF刻蚀溶液成功地获得刻蚀线条分辨率达微米量级的PZT薄膜微图形.较好的解决了有关PZT薄膜制备与加工中存在的关键问题,为硅基铁电薄膜器件的实现奠定了良好的工艺基础.
採用溶膠-凝膠(Sol-Gel)法製備瞭PZT薄膜,在600°C的退火溫度下即穫得瞭晶化完善的鈣鈦礦鐵電相結構.採用典型的半導體光刻工藝,利用HCl/HF刻蝕溶液成功地穫得刻蝕線條分辨率達微米量級的PZT薄膜微圖形.較好的解決瞭有關PZT薄膜製備與加工中存在的關鍵問題,為硅基鐵電薄膜器件的實現奠定瞭良好的工藝基礎.
채용용효-응효(Sol-Gel)법제비료PZT박막,재600°C적퇴화온도하즉획득료정화완선적개태광철전상결구.채용전형적반도체광각공예,이용HCl/HF각식용액성공지획득각식선조분변솔체미미량급적PZT박막미도형.교호적해결료유관PZT박막제비여가공중존재적관건문제,위규기철전박막기건적실현전정료량호적공예기출.
